半导体晶圆湿法清洗台,冲洗器以及干燥设备 - Universal (Far East)公司产品
我们提供用于处理半导体晶圆的湿法清洗台、冲洗机及干燥设备,这些设备同时也适用于平板显示器和其他微电子衬底清洗及干燥。我们的目标是以我们多年的行业经验为客户提供最好的产品。
我们提供手动,半自动和全自动湿法清洗台,可依照客户的要求订做,如扩散前的清洗,氮化物薄膜蚀刻以及光刻胶去除等。我们的设备都符合以下标准:SEMI(s2-93)安全生产方针和FM-200标准。我们的清洗台用SS,PP以及FM4910认证材料制造。
如果您对这些产品有任何需要和问题,请联络我们,我们非常乐意为您提供服务。
产品分类:
A. 我们的湿法清洗台包括:
1. 全自动湿法清洗台
2. 半自动湿法清洗台
3. 手动湿法清洗台
B. 化学品容器:
1. 化学品分散系统
2. 化学品混合系统
C. 湿法清洗台的辅助配件
1. 气动机械传输系统:
外壳由聚丙烯制成,带有氮气冲洗口。
可作0到180度回旋。
负荷量达30磅。
PLC控制
2. 伺服电机机械传输系统
外壳由塑料制成,带有氮气冲洗口。
可作0到180度回旋。
负荷量达50磅。
PLC控制。
3. 清洗槽
我们提供多种湿法清洗槽,包括常温槽,溢流式多级清洗器槽、经济型高/中/低温水槽、再流通槽、过滤槽,超声波槽,兆声波槽。
高效冲洗器 >> 蚀刻过滤槽
槽体材料:PP,PVDF,PFA,Quartz,SS